ระบบตรวจสอบเวเฟอร์ Olympus ขนาด 12 นิ้วคุณสมบัติหลัก:

●การจัดส่งที่แข็งแกร่งเชื่อถือได้และปลอดภัย

ระบบตรวจสอบเวเฟอร์ Olympus ขนาด 12 นิ้วยังคงความทนทาน ความน่าเชื่อถือ และความปลอดภัยของรุ่นก่อนหน้า สามารถถ่ายโอนเวเฟอร์ขนาด 300 มม. ได้อย่างปลอดภัยและเชื่อถือได้ อีกทั้งเวเฟอร์ Warped ยังสามารถเคลื่อนย้ายได้อย่างปลอดภัย

●การออกแบบตามหลักสรีรศาสตร์ใช้งานง่าย

โหมดการตรวจสอบที่ระบบตรวจสอบเวเฟอร์ Olympus ขนาด 12 นิ้วสามารถตั้งค่าได้อย่างอิสระโดยคำนึงถึงความสามารถในการทำงานในโครงการด้านหลังและให้ความสำคัญเป็นพิเศษกับความง่ายในการใช้งานของอุปกรณ์ สอดคล้องกับสองรุ่นของ FOUP (โหลดพอร์ต) และ FOSB ตามลำดับ

ระบบตรวจสอบเวเฟอร์ Olympus ขนาด 12 นิ้วสามารถปรับตำแหน่งการสังเกตแมโครให้เหมาะสมที่สุดและการจัดหน่วยปฏิบัติการแบบรวมศูนย์ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการทำงานของอุปกรณ์

ระบบตรวจสอบเวเฟอร์อัตโนมัติ 300 มม. AL120-12 ข้อกำหนดทางเทคนิค