ปัจจุบัน AWL series wafer handler มี AWL046, AWL068 สองรุ่นซึ่งสามารถปรับให้เข้ากับการตรวจจับเวเฟอร์ 4/6 นิ้วและการตรวจจับเวเฟอร์ 6/8 นิ้วซึ่งมีช่วงการปรับตัวกว้างและจับคู่กับโหมดการตรวจสอบที่ยืดหยุ่นสามารถตั้งค่าได้อย่างอิสระการออกแบบตามหลักสรีรศาสตร์อย่างเต็มที่ใช้งานง่ายและสะดวกสบาย

ซีรี่ส์ AWLข้อดีของระบบตรวจสอบเวเฟอร์

●การตรวจสอบแมโคร 360 °

ระบบตรวจสอบเวเฟอร์ AWL ซีรี่ส์มีแขนตรวจสอบแมโครสามารถรับรู้การหมุน 360 องศาของการตรวจสอบแมโครผิวเวเฟอร์, การตรวจสอบแมโครหลังเวเฟอร์ 1 ง่ายต่อการค้นหารอยแผลเป็นและฝุ่นขนาดเล็ก เวเฟอร์เอียงสามารถสังเกตได้ตามต้องการผ่านคันโยก มุมเอียงของผิวเวเฟอร์≤70°, มุมเอียง 1 องศาของผิวเวเฟอร์≤90°, มุมเอียง 2 องศาของผิวเวเฟอร์≤160°, การใช้ฟังก์ชั่นการหมุน, มุมเอียง, เวเฟอร์ทั้งบวกและด้านกลับและขอบสามารถตรวจสอบได้อย่างเต็มที่

●การออกแบบตามหลักสรีรศาสตร์

จอแสดงผล LCD ของระบบตรวจสอบเวเฟอร์สามารถให้ประสบการณ์ภาพที่ใช้งานง่ายยิ่งขึ้นสำหรับผู้ประกอบการสามารถแสดงรายการตรวจสอบปัจจุบันและลำดับได้อย่างชัดเจนพารามิเตอร์การดีบักได้อย่างรวดเร็ว

ตารางผู้ให้บริการสูญญากาศที่ปล่อยออกมาอย่างรวดเร็วด้วยตนเองของระบบตรวจสอบเวเฟอร์ช่วยเพิ่มความสะดวกสบายและประสิทธิภาพการทำงานของผู้ปฏิบัติงาน

กรณีการสมัครตรวจสอบข้อบกพร่องของเวเฟอร์

ซีรี่ส์ AWLข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคของระบบตรวจสอบเวเฟอร์