แบรนด์: Coxem
หมายเลขรุ่น: SPT-20
ผลิตภัณฑ์นี้มีการควบคุมสูญญากาศโดยอัตโนมัติการตั้งค่าเงื่อนไขเป็นเรื่องง่ายสามารถบรรลุการสูญญากาศอย่างรวดเร็ว (<2 นาที), การประมวลผลการเคลือบของตัวอย่างและสูญญากาศสามารถถ่ายโอนโดยอัตโนมัติหลังจากเสร็จสิ้นการเคลือบ ในขณะเดียวกันการปรับความสูงของตัวอย่างก็สะดวกมาก

ดัชนีทางเทคนิค:
1, แหล่งจ่ายไฟ: AC 220V, 500W
2, น้ำหนัก: 10 กิโลกรัม
3, ขนาด: 420 (W) x220 (D) x230 (H) มม
4、 机械泵: 50L / นาที (60Hz), AC 220V, 150W, 14.5kg
5, ขนาดของเป้าหมาย: เส้นผ่าศูนย์กลาง 50.8 มม
6, ระดับสูญญากาศ: ประมาณ 0.1torr
7, zui แรงดันไฟฟ้าขนาดใหญ่และต่ำ: ~ 3kv
ช่วงการควบคุมการไหลของไอออน: 1 ~ 9mA
ลักษณะการทำงาน:
1 อัตโนมัติเต็มรูปแบบดิจิตอลไอออนสปัตเตอร์เครื่องเคลือบ
2 สามารถเคลือบด้วยสปัตเตอร์ได้ด้วยปุ่มเดียว สูญญากาศสามารถถอดออกได้โดยอัตโนมัติหลังจากเสร็จสิ้นการเคลือบ
3 การเคลือบที่มีเสถียรภาพพร้อมฟังก์ชั่นการตอบรับกระแสการเคลือบผิว
4 สามารถใช้สำหรับ Au, Pt, Pd, Pt-Pd ทุกชนิดของเป้าหมายโลหะ
5 ใช้ปั๊มโรตารี่เสียงรบกวนต่ำ
