เครื่อง UV ความลึก Photolithography รุ่น URE-2000/17 คุณสมบัติทางเทคนิค:
ใช้การจัดตำแหน่งด้วยกล้องจุลทรรศน์สองมุมมอง การปรับระดับชามบอลการควบคุมชิปเดียวสวิตช์สัมผัสใช้งานง่ายและใช้งานได้จริง

1. พารามิเตอร์ทางเทคนิค

lพื้นที่รับแสง:4นิ้ว

lความยาวคลื่นแสง:365nm

lกำลังแยกแยะ:1.5mm(ความหนาของกาว2 mmกาวปกติ)

lความแม่นยำในการจัดตำแหน่ง:±1mm

lหน้ากากตัวอย่างช่วงการเคลื่อนไหวโดยรวม:X：15mm;Y:15mm

lขนาดหน้ากาก:2.5นิ้ว,3นิ้ว,4นิ้ว,5นิ้ว

lขนาดแผ่นตัวอย่าง: เส้นผ่าศูนย์กลางf15mm--f100mm

ความหนา0.1mm--6mm(สามารถขยายเป็น15mm)

lโหมดรับแสง: เวลา (โหมดนับถอยหลัง) และปริมาณที่กำหนด

lความไม่สม่ำเสมอของแสง: 5%（f100mmขอบเขต)

lกล้องจุลทรรศน์จัดตำแหน่ง Bi-fold กล้องจุลทรรศน์: ทั้งผ่านแว่นตาภาพการจัดตำแหน่งยังสามารถทำได้โดยCCD+การจัดตำแหน่งของจอแสดงผล, การถ่ายภาพออปติคอล, ออปติคัลมัลติเพล็กซ์สูงสุด400เท่า, เลนส์+ขยายอิเล็กทรอนิกส์800สองเท่า

วัตถุประสงค์สามคู่:4คูณ,10คูณ,20สองเท่า

แว่นตาสามคู่:10คูณ,16คูณ,20สองเท่า

lหน้ากากที่สัมพันธ์กับการเคลื่อนไหวของตัวอย่าง:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6ปริญญา

lพลังงานหลอดปรอท:200W(DC)

lความหนาแน่นของพลังงานแสง:6mW/cm

2. ขนาดโดยรวม:650mm(ยาว)?600mm(กว้าง)?900mm(สูง)

3. การกำหนดค่า

（1) หัวสัมผัส

l200Wโคมไฟปรอทแรงดันสูงนำเข้า DC(เยอรมนี Osram)

lXYZตารางการปรับโคมไฟปรอท

lระบบออปติคอล

lพัดลมระบายความร้อน

（2) การจัดตำแหน่งตารางชิ้นงาน

lMask Sample โต๊ะกีฬาโดยรวม

lMask Sampler ตารางการเคลื่อนไหวญาติ

lโต๊ะหมุน

lกลไกการปรับระดับชิปตัวอย่าง,คู่มือ

lกลไกการปรับโฟกัสของชิ้นตัวอย่างคู่มือ

lตารางซ็อกเก็ต3หนึ่ง (f50mm、?75mm、?100mm）

lคลิปหน้ากาก4หนึ่ง (2.5นิ้ว,3นิ้ว,4นิ้ว,5นิ้ว)

lหน้ากากดึงกลไกขึ้นและลง

（3) กล้องจุลทรรศน์จัดตำแหน่ง

lแหล่งกำเนิดแสง ( อุปกรณ์เสริม2เท่านั้น), แหล่งจ่ายไฟ

lตัวกล้องจุลทรรศน์ Bifold Alignment

lแว่นสายตา3ใช่ (10คูณ,16คูณ,20คูณ, ทั้งหมด6ชิ้น)

lวัตถุประสงค์3ใช่ (4คูณ,10คูณ,20คูณ, ทั้งหมด6ชิ้น)

lCCD(ไต้หวัน)

l21จอ LCD นิ้ว

（4) ระบบควบคุมไฟฟ้า

lโคมไฟปรอททริกเกอร์พาวเวอร์ซัพพลาย(200Wโคมไฟปรอท DC)

lระบบควบคุม MCU

lแชสซีควบคุม

（5) ระบบนิวเมติก

lกระบอกสูบ, โซลินอยด์วาล์ว, วาล์วลดความดัน, สวิตช์นิวเมติก ฯลฯ

lโซลินอยด์วาล์วไดรฟ์

lเครื่องมือลม

（6) อุปกรณ์เสริมอื่น ๆ

lปั๊มสูญญากาศ หนึ่งชุด

lท่อประปา

（7) ข้อมูลทางเทคนิค

lใช้คู่มือการซ่อมแซม

lคู่มือการใช้กล้องจุลทรรศน์