FIB-SEM ของซีรีส์ ZEISS Crossbeam ประกอบด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน Field Emission Scanning (FE-SEM) ที่ยอดเยี่ยมในการถ่ายภาพและการวิเคราะห์ ไม่ว่าจะเป็นการวิจัยทางวิทยาศาสตร์หรือห้องปฏิบัติการอุตสาหกรรมคุณสามารถบรรลุการใช้งานพร้อมกันของผู้ใช้หลายคนในอุปกรณ์เดียว ด้วยแนวคิดการออกแบบแพลตฟอร์มแบบแยกส่วนของ ZEISS Crossbeam Series คุณสามารถอัพเกรดระบบเครื่องมือของคุณได้ตลอดเวลาตามการเปลี่ยนแปลงของความต้องการของคุณ ชุด Crosssbeam จะช่วยเพิ่มประสบการณ์การใช้งานของคุณอย่างมากเมื่อการประมวลผลการถ่ายภาพหรือการวิเคราะห์โครงสร้างสามมิติ

ด้วยระบบออพติคอลอิเล็กทรอนิกส์เจมินิคุณสามารถดึงข้อมูลตัวอย่างจริงจากภาพ SEM ความละเอียดสูง

ด้วยกระบอกกระจก Ion Sculptor FIB ใหม่พร้อมกับวิธีการรักษาตัวอย่างใหม่ทั้งหมดคุณสามารถเพิ่มคุณภาพของตัวอย่างลดความเสียหายของตัวอย่างในขณะที่เร่งกระบวนการทดลองอย่างมาก

ด้วยฟังก์ชั่นแรงดันไฟฟ้าต่ำของ Ion Sculptor FIB คุณสามารถเตรียมตัวอย่าง TEM ที่บางเฉียบในขณะที่ลดความเสียหาย amorphizing ให้ต่ำมาก

ใช้ฟังก์ชั่นความดันอากาศแปรผันของ Crossbeam 340

หรือใช้ Crossbeam 550 สำหรับลักษณะที่ต้องการมากขึ้นห้องโอคุระมีตัวเลือกมากขึ้นสำหรับคุณ

　　ขั้นตอนการเตรียมตัวอย่าง EM

ทำตามขั้นตอนด้านล่างเพื่อทำตัวอย่างได้อย่างมีประสิทธิภาพและมีคุณภาพสูง

Crossbeam นำเสนอโซลูชั่นครบวงจรสำหรับการเตรียมตัวอย่าง TEM คุณภาพสูงที่บางเฉียบซึ่งคุณสามารถเตรียมตัวอย่างได้อย่างมีประสิทธิภาพและสามารถใช้การวิเคราะห์รูปแบบการถ่ายภาพแบบส่งผ่าน TEM หรือ STEM

1. การวางตำแหน่งอัตโนมัติ - พื้นที่ที่น่าสนใจ (ROI) นำทางได้ง่าย

คุณสามารถหาพื้นที่ที่น่าสนใจ (ROI) โดยไม่ต้องใช้ความพยายาม

วางตำแหน่งตัวอย่างโดยใช้กล้องนำทางในห้องแลกเปลี่ยนตัวอย่าง

ส่วนต่อประสานผู้ใช้แบบบูรณาการทำให้คุณสามารถค้นหา ROI ได้อย่างง่ายดาย

รับภาพกว้างที่ปราศจากการบิดเบือนบน SEM

2. การเตรียมตัวอย่างอัตโนมัติ - การเตรียมตัวอย่างเกล็ดจากวัสดุร่างกาย

คุณสามารถเตรียมตัวอย่างใน 3 ขั้นตอนง่ายๆ: ASP (การเตรียมตัวอย่างอัตโนมัติ)

พารามิเตอร์ที่กำหนดรวมถึงการแก้ไขดริฟท์การสะสมพื้นผิวและการตัดหยาบการตัดละเอียด

ระบบออปติคัลไอออนของกระบอกสูบ FIB รับประกันฟลักซ์ที่สูงมากในกระบวนการทำงาน

ส่งออกพารามิเตอร์เป็นสำเนาซึ่งสามารถทำซ้ำเพื่อเตรียมแบทช์ได้

3. โอนง่าย - ตัดตัวอย่างโอนเครื่องจักร

นำเข้า manipulator เชื่อมตัวอย่างเกล็ดที่ปลายเข็มของ manipulator

ตัดตัวอย่างเกล็ดกับเมทริกซ์ตัวอย่างเชื่อมต่อส่วนเพื่อแยก

เกล็ดจะถูกสกัดและโอนไปยังตะแกรง TEM

4. ตัวอย่างผอมบาง - ขั้นตอนสำคัญในการรับตัวอย่าง TEM ที่มีคุณภาพสูง

เครื่องมือในการออกแบบช่วยให้ผู้ใช้สามารถตรวจสอบความหนาของตัวอย่างแบบเรียลไทม์และในที่สุดก็ถึงความหนาเป้าหมายที่ต้องการ

คุณสามารถตัดสินความหนาของเกล็ดโดยการรวบรวมสัญญาณจากเครื่องตรวจจับสองเครื่องในเวลาเดียวกันบนมือข้างหนึ่งสามารถรับความหนาขั้นสุดท้ายผ่านเครื่องตรวจจับ SE เพื่อทำซ้ำได้สูงบนมืออื่น ๆ สามารถควบคุมคุณภาพพื้นผิวผ่านเครื่องตรวจจับ Inlens SE

เตรียมตัวอย่างที่มีคุณภาพสูงและลดความเสียหายของอสัณฐานจนถึงจุดที่ละเลย